电子芯片、半导体的制造过程**复杂，关键的步骤如沉积、光刻胶涂覆、刻蚀、离子注入和封装都离不开超纯水，超纯水具有绝缘性以及不含杂质，保障了产品的合格率。超纯水系统是工业水处理系统中设计施工较为复杂，包括了众多的子系统，功能单元及配套系统，可将其细分为预处理、除盐水、纯水、循环抛光及回收五大子系统。
